表面粗糙度检测
实验二 表面粗糙度的检测
一、 目的与要求
1、 掌握用光切显微镜测量表面粗糙度的原理和方法。
2、 加深理解微观不平度十点高度Rz和单峰平均间距S的实际含义。
二、 测量原理
光切法显微镜以光切法测量和观察零件表面的微观几何形状，在不破坏表面的条件下，测出截面轮廓的微观几何形状和沟槽宽度的实际尺寸。此外，还可测量表面上个别位置的加工痕迹。
主要技术指标：
测量范围Rz值（微米） 0.8～1.6 1.6～6.3 6.3～20 20～80
所需物镜 60× 30× 14× 7×
总放大倍数 510× 260× 120× 60×
物镜组件与被件的距离（毫米）
0.04 0.2 2.5 9.5
视场直径
（毫米）
系数E 微米/格 0.16 0.29 0.63 1.28
0.3 0.6 1.3 2.5
如图2－1所示，狭缝被光源发出的光线照射后，通过物镜发出一束光带以倾斜45°方向照射在被测量的表面上。被测表面的微观形状，被光亮的具有平直边缘的狭缝亮带照射后，表面的波峰在S点产生反射，波谷在S’点产生反射，通过观测显微镜的物镜，它们各自成像在分划板的a和a’。在目镜中观察到的即为具有与被测表面一样的齿状亮带，通过目镜的分划板与测微器测出a点至a’点之间的距离N，被测表面的微观不平度h即为：
h=N/Vcos45° (N－物镜放大倍数) 图2-1 光切显微镜工作原理图
三、 仪器简介
仪器外形如图2－2所示，基座（6）上装有立柱（5），显微镜的主体通过横臂（2）和立柱联接，转动手轮（4）将横臂沿立柱上下移动，此时显微镜进行粗调焦，并用旋手（1）将横臂固定在立柱上。显微镜的光学系统压缩在封闭的横臂内。横臂上装有可替换的物镜组（8）、测微目镜（13）等。微调手轮（3）用于显微镜的精细调焦。仪器的座标工作台（7）利用其螺旋测微器对工件进行座标测量与调整。对平的工件可直接放在工作台上进行测量，对圆柱形的工件，可放在仪器工作台上的V形块上进行测量。
四、 操作步骤
（一）仪器调整： 图2-2 光切显微镜结构图
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