EVO-18 扫描电镜操作规程
ZEISS EVO-18 扫描电镜操作规程
ZEISS EVO-18 扫描电镜操作规程
1、将控制面板灯从红色的“OFF”依次按到—黄色的“STANDBY” —绿色的“ON”按钮。
2、打开计算机，进入“”“SmartSEM User Interface”操作系统，屏幕上会出现一个“EM Server”状态栏，不用动等他自动运行。然后会出现一个 “用户名和密码”，选择填写用户名为“system”即可，密码没有。这样就进入了操作软件，点击屏幕上方的“TV”模式，可以看到样品室的状态。
3、然后进行样品制备，将样品通过导电胶粘到设备标准样品台上粘牢。样品高度严格要求在20mm以内，同一批样品高度尽量统一，最大高度差不能超过5mm。样品最大长度和宽度不能超过样品台直径20mm。
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、首先将氮气瓶的总阀门逆时针打开，减压阀不动，在操作软件右侧“SEM control”界面，点击“Vaccum”按钮，再点击“Vent”进行放气，等样品室门有明显缝隙能够打开的时候，将氮气瓶总阀门顺时针关上，将样品台背面的卡槽和样品室内的卡槽对应上，装上样品台。将样品室门关紧用手按住，同时点击“Vaccum”按钮中的 “Pump”进行抽真空。等待真空值达到“System Vaccum=3.00e-005mbar”以上。
5、然后点击“SEM control”界面内点击“Gun” 按钮，选择“Beam State”下拉框为“Beam On”将灯丝电压和电流自动升到固定值。升好后，在“TV”模式下，将样品调到适当高度，点击“Stage Navigation”根据样品地图点击相应位置，找到想要看的样品位于中心位置。然后再点击“TV”将切换到“SEM”扫描模式，在“SEM control”界面内点击“Scanning” 按钮，将“Noise Reducion”下面的两个下拉框，分别选择为“End Frame”和“Line Avg”。一般N=20，进行样品观察。这时再看屏幕右下角的“WD”值，“WD=8.5~12mm”为最佳，如果不在这个范围，通过“TV”模式再进行调节。
6、样品观察时，有几个键务必记住，界面全屏切换“Shift+F3”；观察区域移动至中心位置“Ctrl+Tab”；小区域聚焦框健“Reduced”；粗细调焦转换健“Tab”。操作面板上有“放大按钮”和“调焦距”按钮需要熟练操作。
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