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蔡司EVO18扫描电镜操作规程

蔡司EVO 18扫描电子显微镜操作规程

为保证人员安全和设备安全，扫描电镜操作人员必须经过培训并且严格按照操作规程进行操作，蔡司EVO 18扫描电镜的操作分为三大部分：

一、准备工作

检查实验室电源、温度和湿度等环境条件，并准备好所需实验材料；

二、实验过程

实验过程主要包括设备开机、待机、待机重启和关机四个部分：

（一）、开机操作:

1、打开墙上空气开关；

2、启动UPS：打开UPS电池开关，按前面面板上ON键，至两个绿灯亮；

3、按下电镜黄灯：机械泵打开，分子泵、潘宁计、离子泵顺序自动启动；

4、按下绿灯：计算机自动启动；

5、打开SmartSEM软件，输入用户名system以及密码；

6、检查真空读数，等待几分钟至System vacuum<1.2×10-4mBar，真空就绪；

7、检查灯丝设置，开启扫描电镜灯丝；

8、检查灯丝像和光阑对中；

9、观察样品，从低倍到高倍对样品进行观察和拍摄图片。

（二）、待机步骤：

1、关闭灯丝；

2、打开TV，降下样品台，注意样品台是否会碰到探头；

3、关闭SmartSEM软件，包括关用户界面和EM Server；

4、关闭电脑；

5、关能谱控制器及能谱电脑；

6、按下黄灯，电子光学系统、样品台、检测系统关闭，灯丝与真空系统继续工作。

（三）、待机重启步骤：

1、按下绿灯，电脑自动启动；

2、启动SmartSEM软件，输入用户名System以及密码；

3、检查真空读数；

4、换样或加高压观察样品。

（四）、关机步骤：

1、关灯丝；

2、打开TV，降下样品台；注意样品台是否会碰到探头；

3、关SmartSEM软件；包括关用户界面和EM Server；

4、关电脑；

5、关能谱，包括能谱控制器及能谱电脑；

6、按下黄灯，电子光学系统、样品台、检测系统关闭；

7、按下红灯；真空系统关闭；

8、必要时，关UPS；

9、必要时，关总空气开关。

三、注意事项

1、操作过程中一定注意样品和设备探头的工作距离，以防碰到探头；

2、长时间不使用电镜时，每周至少保持抽真空两次，保持机器内真空度。

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