5-微特种加工技术
课程主要容内3(2学时)《微米加工纳技术》主讲 张远德北京航空天大航学机械学院第一第章二章第三章第四章五第章第六章第七章第八章第九章第十章概(2述h)纳加米技工术2h)(生物造制仿与制造(生2h )细微机械工技加术4()微细特h加工技术种(h)2半导加工技体术(h) 8微接连微装配与技术(2) hEMMS技(术h4) EMS工艺M程过设(2计h )EMS基M础理(论4h ) 第五章微特细种工技加 术1§2§§3§4§ 5微高能束加工技细术微细火花加电技术工微电铸细加技术微工与喷流加工技射快术原速型加工术
§技1微细高能束工技加
术光圈激光
器反射镜 聚 焦镜脉冲电源XY Z移动台件工 激 光加工系
统 激：单色性光、方向性相干、性。 激光：通过束学光系聚统成焦米微光级。斑激光加工： 脉光斑瞬间冲热，熔化或加气化 。产物排：吹气除或吸气。设 备激光器：电源、光学系统、、械系机。统激 器光固：、气体、液体体半、体导。用 YAG常体固激器光和CO气体2激器。 频光率秒：、秒毫、秒微、纳秒、飞。秒应用 :切、割孔、打焊、刻线等。 缺接点：备设耗材昂与贵表，面铸层重 低频激。光 高 激光频 纳秒激光 加工统
系1
工
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